クリーンルームについて

クリーンルームという特殊な環境下で使用される製品だからこそ、安全性や正確性が求められます。
そのためフリーベアでは先進の洗浄機・測定機器を導入し、耐久性など性能に関する様々なテストを実施。長期的に安全・確実な搬送を実現するための製品づくりを徹底しています。

さまざまな条件を想定したテストを実施

長く安全にご利用いただくため、さまざまな条件を想定し、テストを実施しています。
あらゆる環境下での使用に耐え、高い強度と精度を保つよう常に品質向上に努めています。

  • フリーベア走行試験機
  • 輪郭形状測定機
  • エネルギー分散形蛍光X線分析機

クリーンルーム用フリーベア耐久試験

【試験条件】
①負荷荷重:500gf
②運転パターン:ストローク15mm(15mm/sec 往復30mm/3sec)
③試験回数:500万回(50万回/毎に測定)〈測定期間:2010.11~2011.3〉

クリーンルーム用フリーベア耐久試験 清潔な製品は、清潔な環境から

クリーンルーム用フリーベアは、工場内のクリーンルーム設備で組み立てから梱包まで一貫して製造。
高品質の製品を、安定して供給することが可能です。
精密洗浄課程では、洗浄度のご要望にも対応可能。
幅広い製品群ときめ細やかな対応で、様々な用途にお応えします。

脱脂・精密洗浄・組立フローチャート

クリーンブース・洗浄室(超音波洗浄機・真空乾燥機)

クリーンブースで脱脂・精密洗浄を行い、お客様の要求条件に合わせた清浄度を追求し、実現。
※VOC規制・基準に対応しています。

クリーンブース・洗浄室

クリーンルーム

クリーンルーム設備内で製造/組立てから梱包まで社内一貫生産体制を実現。

クリーンルーム
  • 炭化水素系超音波洗浄機による油分を除去(荒洗浄) します。
  • 炭化水素系超音波洗浄機による油分を除去(仕上げ洗浄) します。
  • 炭化水素系洗浄液※1でリンス洗浄を行います。
  • 炭化水素系真空乾燥機を使用。
  • 弱アルカリ性超音波洗浄機による、有機汚れ(コンタミ) を除去。
  • 私水でリンス洗浄(すすぎ) を行います。
  • 純水超音波洗浄機による、白色残渣※2を除去する精密洗浄(クリーン洗浄) を行います。
  • クリーンベンチで温風乾燥を行います。
  • クリーンルーム内で静電気除去ブロー環境下で組立を行います。
  • 寸法測定を行います。高さ検査(ボールトップ)
  • フリーベアは全数回転検査を行います。(白色残渣、目視検査※3を同時に行います。)
  • クリーンクラス10対応のSBB・CBBクリーンバッグを使用します。

※1) 炭化水素洗浄液 炭化水素超音波洗浄は、VOC規制(揮発性有機化合物) に対応した環境にやさしい洗浄方法です。
※2) 白色残渣(イオン残渣) 洗浄液や私水に含まれる有機化合物等が液晶パネルやガラス基盤に付着した時に見られる白色の軌跡や痕跡。
※3) 目視検査 ガラス基盤やガラス等にフリーベアを走行させて白色残渣を目視で確認します。(お客様指定の基盤・ガラスでも対応しています。)

材質の特徴

材質名 耐摩耗性 耐薬品性
( アルカリ性)
耐薬品性
(酸性)
耐薬品性
(アルコール)
吸水率 ※耐熱温度
(参考値)
体積固有
抵抗値
Ω・cm
ポリアセタール(POM) 0.22 90℃ >1014
超高分子量ポリエチレン
(UHMWPE)
<0.01 80℃ >1013
ポリテトラフルオロエチレン
(PTFE)
0.03 260℃ 1010〜1012
ポリエーテルエーテルケトン
(PEEK)
0.04 240℃ 1016
ポリアミドイミド(PAI) 0.33 250℃ 1017
UPE/導電グレード 80℃ 104
PEEK/導電グレード 240℃ 105〜106

※耐熱温度は材質自体の参考値です。フリーベア製品の使用条件によっては温度設定が異なります。
①クリーンルーム用の製品には、グリスは塗布されておりません。別途、低発塵グリスの塗布も行えます。メーカー・品番等はお問い合わせください。
②クリーン度 C100~C1,000(C100標準対応。以下は弊社担当までご相談ください。)
*クリーン度はクリーンルーム内の環境で、製品はその中で製造されている事を意味しております。
③洗浄について フローチャート記載。 ④その他材質については弊社までお問い合わせください。

選べる豊富な製品バリエーション

目的や用途、環境や条件などに応じてお選びいただける、
豊富な製品バリエーションを取り揃えています。
単品だけでなく、複数の製品を組み合わせることも可能です。

  • J-○H series
  • J-○HJ series
  • J-○Y series
  • S-8Y series
  • SJ-○H series
  • S-○HK series
  • エアー浮上式クリーンルーム仕様
  • 重荷重用クリーンルーム仕様
  • 特注品クリーンルーム仕様

サイズや重量でお客様のニーズにあわせてご対応いたします。

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